1

微波等离子体化学气相沉积系统主机

在Si衬底上生长的多晶金刚石拉曼特征峰半高宽≤6cm-1，投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

7

反应腔系统

▲系统漏率：<5.0x10-10 Pa・m3 /s (通过氦质谱检漏仪检测)，投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

10

技术服务

▲提供Ø≥ 3 inch，厚度≥1000mm的金刚石生长技术服务

（三）其他商务要求

3

关于验收

★3.3当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

d、货物完成Ø≥ 3 inch，厚度≥1000mm达标样品的制备

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微波等离子体化学气相沉积系统主机

在Si衬底上生长的多晶金刚石拉曼特征峰半高宽≤6cm^-1，投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

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反应腔系统

▲系统漏率：<5.0x10^-10 Pa・m³ /s (通过氦质谱检漏仪检测)，投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

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技术服务

▲提供Ø≥ 3 inch，厚度≥1000μm的金刚石生长技术服务

（三）其他商务要求

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关于验收

★3.3当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

d、货物完成Ø≥ 3 inch，厚度≥1000μm达标样品的制备